Hochreine Quarzwafer-Träger werden zu Kernverbrauchsmaterialien für Vakuumöfen – Amy
2026/07/10
Waferträger aus hochreinem Quarz (Quarzboote) sind wesentliche Bestandteile in Halbleiter-Vakuumöfen für Glüh-, LPCVD-, Oxidations- und Diffusionsprozesse.
Sie bestehen zu 99,995 % aus Quarzglas und weisen äußerst geringe Metallverunreinigungen auf, um eine Kontamination der Wafer im Hochvakuum zu vermeiden. Durch die extrem geringe Wärmeausdehnung und das vollständige Spannungsarmglühen bleiben die Träger auch bei wiederholten Temperaturzyklen von 1000–1200 °C formstabil und widerstehen Temperaturschocks und Verformungen.
Die polierten, glatten Oberflächen sind chemisch inert gegenüber Fluor, Säuren und Trägergasen und reduzieren das Ablösen von Partikeln und Kratzer durch Späne. Präzise Rillen sorgen für einen gleichmäßigen Abstand der Wafer für einen gleichmäßigen Wärme- und Gasfluss und stabilisieren die Filmdicke und die elektrische Leistung.
Es sind kundenspezifische Größen für 4/6/8/12-Zoll-Wafer erhältlich, die zu horizontalen und vertikalen Vakuumröhrenöfen passen. Inländische Quarzträger bieten importierte Qualität mit kürzeren Vorlaufzeiten und niedrigeren Kosten und unterstützen so die Massenproduktion von Chips, Solarzellen und optoelektronischen Materialien.
