CVD Quarzrohr für türkische Halbleiter-Client-Amy

1. Projektübersicht

• Kunde: Türkischer Hersteller von CVD-Geräten
• Produkt: Hochreines Quarzglasrohr
• Material: JGS2-Quarz mit niedrigem Hydroxylgehalt
• Anwendung: Hochtemperatur-Reaktionskammer zur Waferbeschichtung

2. Herausforderungen des Kunden

1. Gewöhnliche Quarzrohre entglasen leicht bei kontinuierlicher Erwärmung auf 1100 °C.
2. Eine ungleichmäßige Wandstärke beeinträchtigte die Gleichmäßigkeit der Erwärmung und die Waferqualität.
3. Separate Materialtestzertifikate und Dimensionsberichte erschwerten Werksaudits.
4. Lange Produktionsvorlaufzeiten aufgrund des alten Lieferanten verzögerten die Lieferung der Ausrüstung.

3. Unsere Lösungen

1. Verwenden Sie JGS2-Rohmaterial mit niedrigem Hydroxylgehalt, um dem Beschlagen bei hohen Temperaturen zu widerstehen.
2. Präzises Rotationsformen zur Kontrolle der Wanddickentoleranz innerhalb von ±0,1 mm.
3. Führen Sie Material-TC- und Maßprüfdaten in einem vollständigen Bericht zusammen.
4. Richten Sie eine eigene Produktionslinie ein, um den Lieferzyklus zu verkürzen.

4. Ergebnisse der Zusammenarbeit

• Keine Entglasung nach langem Ofenbetrieb, wodurch die Waferausbeute verbessert wird.
• Stabile monatliche Großbestellungen nach Probetests.
• Vereinfachte Auditabläufe dank integrierter Zertifizierungsdokumente.
• Der Kunde stellte uns zwei lokale Halbleiterpartner vor.

5. Markteinblicke