Custom High Purity Flanged Quarz Tube Project Case fügte Siliciumröhrchen mit integrierter Flansche für Halbleiter CVD Tube Furnace Vakuumreaktor-sara
Veröffentlicht am: June 22, 2026
Projektfall: Maßgeschneiderte hochreine Quarzglasröhrchen
Überblick über den Fall
Dieser Fall betrifft die kundenspezifische Batchproduktion von Quarzrohren für einen ausländischen Hersteller von Halbleitergeräten.mit einer Breite von mehr als 20 mm, jedoch nicht mehr als 30 mm,Wir lieferten eine vollständige One-Stop-Anpassung einschließlich Rohrgröße, Flansche Schraubloch Layout, Wanddicke und hochtemperaturen Belastungsentlastung Glühen,Sie lösen ihre langjährigen Probleme mit Leckagen in Rohrleitungen., hohe Verunreinigungsbelastung und häufiges Rohrspalten während des thermischen Zyklus.
Schmerzpunkte des Kunden vor der Zusammenarbeit
- Original-Borosilikatglasrohre, die bei einer Betriebstemperatur von über 900 °C verformt sind und zu einem Flanschverbindungsleckage und instabilen Vakuumbedingungen führen.
- Gewöhnlich geschweißte Quarzrohre ohne Aufheizung knacken leicht nach wiederholten kalten und heißen Zyklen, hohe Ersatzkosten und Produktionsunterbrechungen.
- Unkontrollierte Dimensionstoleranz von Flanschen, schlechte Übereinstimmung mit den Metallverschlussvorrichtungen des Kunden, geringe Verarbeitungsleistung.
- Die Quarz-Rohstoffe mit geringer Reinheit verunreinigten sich mit Metallionen und beeinträchtigten die Präzision der Waferverarbeitung.
Unsere maßgeschneiderte Quarzflanschrohrlösung
- Materialwahl: 99,99% synthetisches hochreines geschmolzenes Silizium mit geringem Hydroxylgehalt, keine Metallverunreinigungen, kompatibel mit dem Halbleiter-Ultra-Clean-Prozess.
- Integrierte Heißschweißflansche: Quarzflansche mit integrierter Schmelze an einem/beiden Enden des Rohrkörpers, hochfeste Schweißnaht, vollständig gegießt, um innere Belastungen zu beseitigen, thermischen Schocks standhalten.
- Präzisions-CNC-Bearbeitung: Außendurchmesser, Wandstärke, Rohrlänge, Außendurchmesser der Flansche, Schraublochposition und -öffnung mit einer strengen Toleranz von ±0,02 mm.
- Oberflächenbehandlung: Flammenpolierte innere und äußere Rohrwand, glatt ohne Blasen, Kratzer oder Mikro-Risse, hervorragende UV- und sichtbare Lichtdurchlässigkeit.
- Strukturelle Anpassung: Unterstützung von Einzelflanschen, Doppelflanschen, geschlossenem Kuppelboden, dicken Wänden und hochdruckbeständiger Strukturen gemäß den Anforderungen der Kunden.
Lieferung und tatsächliche Betriebseffekte
Wir haben die Probenbestätigung, die Versuchsbestellung und die Massenproduktion innerhalb von 12 Werktagen abgeschlossen, die vollständige Dimensionsinspektion, den Hochtemperaturalterungstest und den Vakuumdichtheitstest vor dem Versand abgeschlossen. Nach der Installation durch den Kunden und dem Dauerbetrieb:
- Null-Leckage unter hohem Vakuum und Dauerarbeitstemperatur von 1150°C;
- Keine Risse nach mehr als 100 thermischen Zyklusprüfungen, mehr als dreimal längere Lebensdauer;
- Null Verunreinigungsvorkommen, Waferproduktertrag um 16% verbessert;
- Die Standardflanschgröße passte perfekt zu den bestehenden Spann- und Dichtungsbauteilen des Kunden und verkürzte die Montagezeit der Ausrüstung erheblich.
